团队利用良好的设备能力,在高通量材料基因组领域,承担了科技部重大研发计划,成功开发了世界上第一台高通量实验的CVD设备,实现了x100的通量,同时也开发了国内领先的高通量喷墨打印系统,用于各种器件的开发。
另外,团队还研制出国内首台中压等离子体化学气相沉积系统(世界第二台)。较传统的热CVD,该设备可以实现单晶硅x10的生长速度,低400°C的生长温度,以及高一倍的气体转化率。该设备还可以用于各类硅材料的快速低温生长,和垂直石墨烯墙等新材料的开发,应用广泛。
团队还利用中科院设备项目,搭建具有外加能量场辅助的温度更高的MOCVD设备,旨在解决高Al组份,含B组份的GaN材料的高质量外延生长。