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研究方向 - 基于装备开发的新材料研究

       团队帮合作企业低成本的实现了环保友好型化学镀膜,而且工艺窗口更宽,防腐性能更好,在国内处于领先地位,并成功实现了无晶须镍彩桥架的量产,解决数据中心金属粉尘污染,并积累了不同应用要求的产业方案。产品已在小米、华为数据中心应用,出口日本、澳大利亚和美国等国家,写入了通信行业《金属网格式线缆桥架标准》, 已获得“国家云计算中心科技奖”-卓越奖(2019),“中国工程建设标准化协会2019年数据中心科技成果奖”-优秀奖,“国家互联网数据中心产业技术创新联盟技术创新奖”- 一等奖(2019)等奖项。

          

 

      团队还利用良好的设备能力,在高通量材料基因组领域,承担了科技部重大研发计划,成功开发了世界上第一台高通量实验的CVD设备,实现了x100的通量,同时也开发了国内领先的高通量喷墨打印系统,用于各种器件的开发。

             

 

      另外,团队还研制出国内首台中压等离子体化学气相沉积系统(世界第二台)。较传统的热CVD,该设备可以实现单晶硅x10的生长速度,低400°C的生长温度,以及高一倍的气体转化率。该设备还可以用于各类硅材料的快速低温生长,和垂直石墨烯墙等新材料的开发,应用广泛。

       

 

       团队还利用中科院设备项目,搭建具有外加能量场辅助的温度更高的MOCVD设备,旨在解决高Al组份,含B组份的GaN材料的高质量外延生长。

                        

最后修改:2020-03-12 20:20:52,   访问次数:2036
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